KAIST CO₂보다 6000배 강력한 반도체 온실가스…'무질서의 힘'으로 잡는다

[베리타스알파=김하연 기자] 반도체를 만들 때 사용하는 가스 중에는 이산화탄소보다 6,000배 이상 강력한 온실가스가 있다. KAIST 연구진이 여러 금속 원자를 섞으면 오히려 구조가 안정되는 '무질서의 힘'​을 이용해 이 가스를 높은 효율로 없애면서, 온실가스 분해를 돕는 촉매도 오래 사용할 수 있는 기술을 개발했다.KAIST(총장 배충식)는 생명화학공학과 최민기 교수 연구팀이 삼성전자 연구진과 공동연구를 통해 반도체 미세회로를 만드는 공정 등에 사용되는 온실가스인 사불화탄소(CF₄)를 높은 효율로 장기간 제거할 수 있는 새로운